颗粒测试
目的在于保证管道系统或设备的内壁或者死角无影响制程的颗粒杂质。
颗粒测试的原理：被测气体通过测试仪器时，如果气流中有颗粒(该颗粒在测试仪器可以监控的范围内)，测试仪器会通过内部的产生的激光照射该取样气体，再通过内部的计数装置进行分类计数，从而得出该取样气体的颗粒测试值。
测试仪器显示的测试规格值有8个(um)：0.1，0.2，0.3，0.5，1.0，2.0，3.0，5.0；
测试取样：0.1scfm;(10分钟/次)
测试值单位：？pcs/scf>？μm
颗粒测试值取增量，所以对吹扫气源有一定的要求。
