水分氧分测试
目的在于保证管道系统或设备的内壁或者死角无影响制程的水分和氧分。
超高纯系统的水分和氧分测试的单位：ppb(10-9),即每立方米被测试气体中只有十亿分之一立方米被测不纯物；
不纯物测试过程中，当测试显示值合乎测试标准并保持20分钟不变或者持续稳定下降，则可以认定合格。如果测试显示值仍然在上升，即使显示值低于规定值也不能认定合格。
水分和氧分测试值取增量，所以对吹扫气源有一定的要求。
水分测试取样气体的流量为200SCCM，测试仪器开机后需要升温到60℃采能正常工作(这时一个波动的过程)；
氧含量测试取样气体的流量为1SLPM
